《传感器与检测技术》课件 第十二章 化学传感器.pptxVIP

第十二章化学传感器PHOTOCHEMICALSENSOR气体传感器12.1湿度传感器12.2

第十二章12.1气体传感器1.1.1什么是传感器12.1.1定义及分类概述气体传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器，是一种实现气体中的特定成分检测，并将其转化成相应电信号的器件或装置。气体传感器的种类较多，主要包括气体种/气体量传感器、气体成分传感器。气体种类/浓度传感器主要有半导体气体传感器和固体电解质气体传感器，气体成分传感器主要有高频成分传感器和光学成分传感器。

第十二章12.1气体传感器1.1.1什么是传感器12.1.2电阻型半导体气体传感器1.工作原理电阻型半导体气体传感器是利用气体在半导体表面发生氧化还原反应导致敏感元件电阻值变化的原理制成的。如下图所示，气体电阻式传感器工作时半导体被加热到稳定状态，当气体接触到半导体就会被吸附，被吸附的气体分子首先在半导体表面扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分分子固定在吸附处，与半导体发生氧化还原反应。工作流程解释

第十二章12.1气体传感器1.1.1什么是传感器12.1.2电阻型半导体气体传感器1.工作原理根据气体与半导体反应的特性，将气体分为两大类，一类为氧化性气体，一类为还原性气体。当气体电阻式传感器遇到氧化型气体（电子接受型气体）时，被吸附分子（气体）从半导体中夺得电子而形成负离子吸附。半