CN119678106A 光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 (株式会社尼康).docxVIP

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  • 2026-06-09 发布于山西
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CN119678106A 光源单元、照明单元、曝光装置、以及曝光方法 (株式会社尼康).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119678106A

(43)申请公布日2025.03.21

(21)申请号202280099035.8

(22)申请日2022.08.18

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.11

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0312142022.08.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/038538JA2024.02.22

(71)申请人株式会社尼康地址日本东京都

(72)发明人吉田亮平铃木智也樱井友纪也犬童真成岩永正也

(74)专利代

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