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CN119804392A 一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法 （合肥工业大学）.pdfVIP

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  • 2026-06-10 发布于重庆
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CN119804392A 一种用于晶圆表面无损检测的装置及方法 （合肥工业大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119804392A

    (43)申请公布日2025.04.11

    (21)申请号202411910702.3

    (22)申请日2024.12.24

    (71)申请人合肥工业大学

    地址230009安徽省合肥市包河区屯溪路

    193号

    申请人无锡维度机器视觉产业技术研究院

    有限公司

    (72)发明人卢荣胜陈耕阳张腾达谈士涛

    (74)专利代理机构合肥和瑞知识产权代理事务

    所(普通合伙)34118

    专利代理师金宇平

    (51)Int.Cl.

    G01N21/47(2006.01)

    G01N21/01(2006.01)

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