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CN119687839A 一种外延片层的厚度测量方法 （苏州长光华芯光电技术股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-10 发布于山西
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CN119687839A 一种外延片层的厚度测量方法 （苏州长光华芯光电技术股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119687839A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202510207800.9

    (22)申请日2025.02.25

    (71)申请人苏州长光华芯光电技术股份有限公司

    地址215163江苏省苏州市高新区漓江路

    56号

    申请人苏州长光华芯半导体激光创新研究

    院有限公司

    (72)发明人杨文帆王俊程洋詹文博

    赵武李婷闵大勇

    (74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

    有限公司11250

    专利代理师薛成

    (51)Int.Cl.

    G01B15/02

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