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- 2026-06-11 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119742249A
(43)申请公布日2025.04.01
(21)申请号202411921706.1
(22)申请日2024.12.24
(71)申请人江苏天芯微半导体设备有限公司
地址214111江苏省无锡市新吴区新梅路
58号
(72)发明人刘超
(74)专利代理机构上海元好知识产权代理有限
公司31323
专利代理师朱成之
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
H01L21/687(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图4页
(54)发明名称
一
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