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CN119692549A 一种用于涡轮分子泵的故障预测方法、装置、设备及介质 （北京中科科仪股份有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-11 发布于山西
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CN119692549A 一种用于涡轮分子泵的故障预测方法、装置、设备及介质 （北京中科科仪股份有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119692549A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202411790767.9

    (22)申请日2024.12.06

    (71)申请人北京中科科仪股份有限公司

    地址100190北京市海淀区中关村北二条

    13号

    (72)发明人田宇张亚楠宋海燕

    (74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

    有限公司11250

    专利代理师杜依倩

    (51)Int.Cl.

    G06Q10/04(2023.01)

    F04D27/00(2006.01)

    G06F30/27(2020.

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