CN120010191A 一种mems微振镜的光变图像点阵光刻机构及方法 (江苏大衍光子科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-12 发布于重庆
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CN120010191A 一种mems微振镜的光变图像点阵光刻机构及方法 (江苏大衍光子科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120010191A

(43)申请公布日2025.05.16

(21)申请号202411874740.8

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人江苏大衍光子科技有限公司

地址215000江苏省苏州市常熟市尚湖镇

翁庄路9号

(72)发明人王新辉宁吉强

(74)专利代理机构苏州高展知识产权代理有限

公司32763

专利代理师孙晓宇

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G02B26/08(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图2页

(54)发明名称

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