CN119956482A 一种晶圆级SnO2单晶纳米膜、其制备方法及柔性微纳氢气传感器 (浙江大学温州研究院).pdfVIP

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  • 2026-06-12 发布于重庆
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CN119956482A 一种晶圆级SnO2单晶纳米膜、其制备方法及柔性微纳氢气传感器 (浙江大学温州研究院).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119956482A

(43)申请公布日2025.05.09

(21)申请号202411890749.8C23C14/35(2006.01)

C23C16/40(2006.01)

(22)申请日2024.12.20

C23C16/01(2006.01)

(71)申请人浙江大学温州研究院

C23C28/00(2006.01)

地址325036浙江省温州市瓯海区凤南路

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