CN119698338A 用于将上抛光布压靠在用于同时抛光半导体晶圆的前侧和后侧的机器的上抛光板上的装置和方法 (硅电子股份公司).docxVIP

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  • 2026-06-12 发布于山西
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CN119698338A 用于将上抛光布压靠在用于同时抛光半导体晶圆的前侧和后侧的机器的上抛光板上的装置和方法 (硅电子股份公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119698338A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202380059271.1

(22)申请日2023.08.03

(30)优先权数据52022.08.12EP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.12

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0715052023.08.03

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/033205DE2024.02.15

(71)申请人硅电子股份公司地址德国慕尼黑

(72)发明人T

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