CN119696541A 声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器 （深圳飞骧科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119696541A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202510207291.X

(22)申请日2025.02.25

(71)申请人深圳飞骧科技股份有限公司

地址518052广东省深圳市南山区南头街

道大汪山社区南光路286号水木一方大厦1栋1601

(72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

(74)专利代理机构深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙)44636

专利代理师刘伟

(51)Int.Cl.

H03H9/64(2006.01)

H03H9/02(2006.01)

H03H3/08(2006.01)

H10N30/082(2023.01)

H10N30/086(2023.01)

权利要求书1页说明书4页附图6页

(54)发明名称

声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤

波器

(57)摘要

CN119696541A本发明涉及无线通讯技术领域，提供了一种声表面波滤波器的制备方法及声表面波滤波器，S1、获取声表面波滤波器的衬底；S2、在衬底的正面生长多个金属电极和保护层，保护层完全覆盖多个金属电极；S3、在衬底上预设均热柱区域，并在衬底的背面旋涂一层光刻胶；S4、通过曝光并显影，去除均热柱区域的光刻胶；S5