CN119714121B 基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置 （法博思(宁波)半导体设备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119714121B

(45)授权公告日2025.05.16

(21)申请号202510213599.5

(22)申请日2025.02.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119714121A

(43)申请公布日2025.03.28

(73)专利权人法博思（宁波）半导体设备有限公司

地址315413浙江省宁波市余姚市三七市

镇云山中路28号

(72)发明人李志松侯懿宋金龙

(74)专利代理机构北京华清迪源知识产权代理

有限公司11577

专利代理师王萌迪

(51)Int.Cl.

G01B11/24(2006.01)

G01M11/02(2006.01)

(56)对比文件

CN102494631A,2012.06.13

CN115930805A,2023.04.07审查员石维平

权利要求书2页说明书8页附图3页

(54)发明名称

基于多信号相位提取的两平面绝对面形检

测方法及装置

(57)摘要

CN119714121B本申请公开了一种基于多信号相位提取的两平面绝对面形检测方法及装置，涉及光学干涉测量技术领域，利用初始位置的波前相位分布数据和多个旋转后的波前相位分布数据的平均值，得到旋转非对称误差；然后将参考镜沿着X轴平移，并测