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- 2026-06-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119935670A
(43)申请公布日2025.05.06
(21)申请号202411893260.6
(22)申请日2024.12.20
(71)申请人安徽长飞先进半导体股份有限公司
地址241002安徽省芜湖市弋江区马塘街
道利民东路82号
(72)发明人吴永智杨晶峰
(74)专利代理机构北京知帆远景知识产权代理
有限公司11890
专利代理师张举仕
(51)Int.Cl.
G01N1/28(2006.01)
权利要求书2页说明书6页附图5页
(54)发明名称
晶圆的制样设备以及制样方法
(
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