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真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量及编制说明.pdf

真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量及编制说明.pdf

    《真空技术溅射离子泵性能参数的测量》编制说明

    （征求意见稿）

    一、工作简况

    1任务来源

    本项目是根据国家标准化管理委员会国家标准制修订计划（国标委发[2025]43号文），计划编号T-604，项目名称“真空技术溅射离子泵性能参数的测量”进行修订，主要起草单位：北京中科

    科仪股份有限公司，计划应完成时间2026年。

    2主要工作过程

    起草（草案、论证）阶段：起草（草案、论证）阶段：2025年8月8日，全国真空技术标准化技术

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