硅片慢提拉清洗槽清洗工艺优化方案.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

速下降提升以配合不同的清洗工艺要求法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态授权授权权利要求说明书硅片慢提拉清洗槽的权利要求说明书内容是请下载后查看说明书硅片慢提拉清洗槽的说明书内容是请下载后查看

(10)申请公布号

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