存储芯片封测项目技术方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概况与建设目标 3
二、项目需求分析与论证 4
三、封测技术路线选型 7
四、晶圆来料检验标准 9
五、晶圆减薄工艺方案 13
六、晶圆切割工艺方案 16
七、芯片贴装工艺方案 18
八、引线键合工艺方案 19
九、塑封成型工艺方案 22
十、后封装去飞边工艺方案 24
十一、芯片打标工艺方案 26
十二、封装可靠性测试方案 28
十三、封装功能测试方案 30
十四、测试数据管理与分析 32
十五、核心生产设备选型 35
十六、配套辅助系统配置 38
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