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多晶硅液晶面板生产项目原料提纯工艺方案.docx

多晶硅液晶面板生产项目原料提纯工艺方案.docx

    多晶硅液晶面板生产项目原料提纯工艺方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目总述 3

    二、原料提纯目标 6

    三、原料种类与来源 8

    四、原料质量要求 10

    五、工艺路线选择 12

    六、杂质类型分析 15

    七、预处理工序设计 19

    八、化学提纯工序 23

    九、物理提纯工序 25

    十、吸附净化工序 26

    十一、过滤与分离工序 31

    十二、蒸馏与精制工序 32

    十三、熔融净化工序 34

    十四、纯化设备配置 38

    十五、关键参数控制 40

    十六、洁净环境要求 42

    十七、能耗控制方案 46

    十八、物料平衡设计

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