半导体温控设备进入多通道与深低温升级周期，中国生产和需求份额持续提升.pdf

全球半导体专用温控设备市场研究报告

半导体专用温控设备（SemiconductorChiller）是半导体工艺设备的关键配套子系统，核心作用是通过

受控循环介质，对工艺腔体、静电卡盘（ESC）、载台、电极、光学/机械模块、真空子系统、化学液、测试

平台或其他热源进行稳定冷却、加热或恒温控制。与普通工业冷水机不同，半导体专用温控设备更强调温控

精度、动态响应速度、流量/压力稳定性、宽温域控制、介质兼容性、洁净兼容性、SEMI安规适配、设备端

通信协同和长期量产可靠性。产品形态可按通道数分为单通道、双通道、三通道及更多通道Chiller；按技

术路线分为压缩机型、热交换型、热电TEC型和复叠型；按应用覆盖刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影及光刻相

关温控、离子注入、热处理/扩散/氧化/退火、CMP、清洗/湿法工艺、测试及其他半导体设备。

根据QYResearch半导体研究中心最新报告《全球及中国半导体专用温控设备市场现状及发展研究

2026-2032》统计，2025年全球半导体专用温控设备市场规模约8.4亿美元，预计到2032年增至14.1亿

美元，2026-2032年复合增速约7.3%。该行业在2023年经历半导体设备周期性回落后，2024-2025年已

恢复增长，并进入