CN119727647A Mems谐振器及其制造方法、电气产品 （深圳市蔚海智芯科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119727647A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202311087311.1

(22)申请日2023.08.24

(71)申请人深圳市蔚海智芯科技有限公司

地址518073广东省深圳市南山区桃源街

道长源社区学苑大道1001号南山智园

C2栋315

(72)发明人祁明可

(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限

公司11127

专利代理师田勇王曦

(51)Int.Cl.

H03H9/02(2006.01)

H03H9/15(2006.01)

H03H3/007(2006.01)

权利要求书3页说明书15页附图14页

(54)发明名称

MEMS谐振器及其制造方法、电气产品

(57)摘要

CN119727647A本申请实施例提供一种MEMS谐振器及其制造方法、电气产品。所述MEMS谐振器包括：器件结构，其包括衬底层、位于所述衬底层内部或者上侧的第一空腔、位于所述衬底层上侧的器件层、位于所述器件层上侧的压电层以及位于所述压电层上侧的第一电极层；其中在所述衬底层的下侧具有引脚，所述引脚经由贯通所述衬底层的导电孔和贯通所述器件层的岛状结构与所述第一电极层电连接。通过本申请实施例，可以缩小芯

CN119727647A

CN1197