G.BT 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法288.docxVIP

ICS31.030L90

中华人民共和国国家标准

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法

硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、

铜、钼、砷和锑量的测定

电感耦合等离子体质谱法

Trichlorosilaneforsiliconepitaxy—Determinationofboron,aluminium,

phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,

copper,arsenic,molybdenumandantimonycontent—Inductively

coupledplasmamassspectrometricmethod

2012-12-31发布2013-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

中国国家标准化管理委员会发布

工

GB/T29056—2012

前言

本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本标准起草单位：南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国