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GBT-氮化铝单晶复合衬底 .pdf

GBT-氮化铝单晶复合衬底 .pdf

    ICS29.045

    CCSH83

    中华人民共和国国家标准

    GB/TXXXXX—XXXX

    `

    氮化铝单晶复合衬底

    Monocrystallinealuminumnitridecompositesubstrate

    （审定稿）

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