CN119738072A 一种薄膜应力测量方法及装置 (芯恩(青岛)集成电路有限公司).docxVIP

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  • 2026-06-17 发布于山西
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CN119738072A 一种薄膜应力测量方法及装置 (芯恩(青岛)集成电路有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119738072A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202311227587.5

(22)申请日2023.09.21

(71)申请人芯恩(青岛)集成电路有限公司

地址266000山东省青岛市黄岛区太白山

路19号德国企业南区401

(72)发明人李永欢王杰时均林瑶苑振涛

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

(51)Int.Cl.

G01L1/25(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附

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