CN119642743A 一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质 (无锡卓海科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-17 发布于重庆
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CN119642743A 一种基于晶圆检测系统的检测方法、装置、设备及存储介质 (无锡卓海科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119642743A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411878098.0

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人无锡卓海科技股份有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区珠江路

97号

(72)发明人阿民相宇阳俞胜武

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师白云

(51)Int.Cl.

G01B11/26(2006.01)

G01H9/00(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图6页

(54)发明名称

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