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CN119739970A 等离子发生器的实时监控系统及方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-06-18 发布于山西
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CN119739970A 等离子发生器的实时监控系统及方法 （江苏神州半导体科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119739970A

    (43)申请公布日2025.04.01

    (21)申请号202411851858.9

    (22)申请日2024.12.16

    (71)申请人江苏神州半导体科技有限公司

    地址225100江苏省扬州市邗江区蜀岗西

    路19号1

    (72)发明人朱培文

    (74)专利代理机构南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32321

    专利代理师梅生振

    (51)Int.Cl.

    G06F18/10(2023.01)

    G06F18/214(2023.01)

    G06F18/20(2023.01)

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