CN119744437A 等离子体处理装置和温度测量方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119744437A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202380061306.5

(22)申请日2023.08.16

(30)优先权数据

2022-1356512022.08.29JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0295492023.08.16

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/048273JA2024.03.07

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人山