CN119742243A 保压老化测试系统以及测试方法 （北京晶亦精微科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119742243A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202411586433.X

(22)申请日2024.11.07

(71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司

地址100176北京市大兴区经济技术开发

区泰河三街1号2幢2层101

(72)发明人周志曼张康李婷刘福强刘欢董建强

(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理

有限公司11250

专利代理师刘贺秋

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01R31/26(2020.01)

G01D21/02(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

F26B9/06(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图5页

(54)发明名称

保压老化测试系统以及测试方法

(57)摘要

CN119742243A本发明涉及晶圆干燥技术领域，公开保压老化测试系统以及测试方法。系统包括干燥腔室、设于干燥腔室外具有第一检测空间的第一密封结构、第一气源、气体检漏组件、第二气源、第三气源以及加热结构、第一温度检测结构、第一压力检测结构和第二压力检测结构；第一气源与干燥腔室及第一密封结构相连接，以通入第一测试气体；气体检漏组件检测干燥腔室和