CN120237035A 半导体结构的缺陷检测方法 (深圳市章阁仪器有限公司).pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约2.03万字
  • 约 19页
  • 2026-06-19 发布于重庆
  • 举报

CN120237035A 半导体结构的缺陷检测方法 (深圳市章阁仪器有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120237035A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510386938.X

(22)申请日2025.03.27

(71)申请人深圳市章阁仪器有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区福城街

道新和社区观澜大道115号龙光玖誉

府135

(72)发明人魏新成

(74)专利代理机构深圳市联鼎知识产权代理有

限公司44232

专利代理师刘抗美

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图6页

(54)发明名称

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档