原创力文档泛半导体智能装备生产项目洁净车间方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、建设目标 6
三、总体设计原则 9
四、生产工艺特点 11
五、洁净等级划分 13
六、功能分区规划 17
七、人员流线设计 20
八、物料流线设计 22
九、设备布置要求 25
十、环境控制系统 28
十一、空调净化系统 32
十二、新风与排风系统 36
十三、气流组织形式 39
十四、温湿度控制方案 40
十五、压差控制方案 43
十六、洁净室围护结构 48
十七、地面与墙顶做法 51
十八、给排水系统方案 53
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