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碳化硅晶体生产项目质量检测控制方案.docx

碳化硅晶体生产项目质量检测控制方案.docx

    碳化硅晶体生产项目质量检测控制方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、项目概况 7

    三、质量目标 9

    四、组织架构 11

    五、职责分工 14

    六、检测范围 16

    七、控制原则 19

    八、原料检验 22

    九、设备检验 25

    十、工艺参数检测 28

    十一、晶体生长过程监测 33

    十二、环境条件监测 36

    十三、关键质量指标 38

    十四、抽样检验方案 41

    十五、过程巡检要求 46

    十六、成品检验 51

    十七、不合格品控制 53

    十八、数据记录管理 55

    十九、检测设备管理 58

    二十、校准

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