CN119742269A 一种高精度气浮移载机构及其控制方法 （长园半导体设备(珠海)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119742269A

(43)申请公布日2025.04.01

(21)申请号202510246314.8

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人长园半导体设备（珠海）有限公司

地址519000广东省珠海市高新区科技八

路5号3栋(研发楼)5楼

(72)发明人陈有亮彭博邓章赖俊魁颜智德廖广兰宿磊

(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205

专利代理师赵伟杰

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/603(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图6页

(54)发明名称

一种高精度气浮移载机构及其控制方法

(57)摘要

CN119742269A本申请公开了高精度气浮移载机构及其控制方法，包括：支撑台面、第一移载模组、第二移载模组、承载模组和控制模组；第一移载模组设置于支撑台面上；第二移载模组与第一移载模组的活动部连接；承载模组包括旋转模块、第一支撑板、载料板、第一气浮模块和第二气浮模块，第一支撑板内设有第一避让孔，第一气浮模块位于第一避让孔内，旋转模块设置于第一支撑板上，载料板同时与第一气浮模块、旋转模块的活动部连接，第一气浮模块