CN119310297A 电子级硅基物料金属杂质在线分析系统及方法 （唐山三孚电子材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119310297A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411847171.8

(22)申请日2024.12.16

(71)申请人唐山三孚电子材料有限公司

地址063000河北省唐山市曹妃甸区南堡

开发区开发路西侧(唐山三孚硅业股

份有限公司院内)

(72)发明人周晓咪李宁宁

(74)专利代理机构河北向往专利代理有限公司

13162

专利代理师朱春巧

(51)Int.Cl.

G01N35/00(2006.01)

G01N1/14(2006.01)

G01N1/40(2006.01)

G01N33/00(