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低温加工多晶硅薄膜晶体管自热退化分析.pdf

低温加工多晶硅薄膜晶体管自热退化分析.pdf

    日.应用第41卷（2002年）第6313页–6319

    第1部分，第11A期，2002年11月#2002应用

    学会

    低温加工的多晶硅薄膜晶体管自热引起的现象分析INOUESatoshi,

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    OHSHIMAHiroyuki和SHIMODATatsuya

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