CN119768483A 研磨剂、研磨剂用添加液和研磨方法 （Ａｇｃ株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768483A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380060788.2

(22)申请日2023.08.22

(30)优先权数据

2022-1422762022.09.07JP

2023-0309242023.03.01JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.19

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0301402023.08.22

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/053390JA2024.03.14

(71)申请人AGC株式会社

地址日本

(72)发明人中岛秀喜加藤知夫赤时正敏

冈村有造岩本纮明

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师王洋

(51)Int.Cl.

C09K3/14(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

B24B37/015(2012.01)

B24B53/017(2012.01)

C09G1/02(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书5页说明书18页附图1页

(54)发明名称

研磨剂、研磨剂用添加液和研磨方法

(57)摘要

本发明提供能够高速