CN119768743A 图案曝光装置、及组件制造方法 （株式会社尼康）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768743A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202280099382.0

(22)申请日2022.07.25

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.20

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0286192022.07.25

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/023885JA2024.02.01

(71)申请人株式会社尼康地址日本东京都

(72)发明人加藤正纪

(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256

专利代理师陈伟闫剑平

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书5页说明书46页附图44页

(54)发明名称

图案曝光装置、及组件制造方法

(57)摘要

CN119768743A本发明的曝光装置使来自空间光调变组件的所选择的开状态的微镜的反射光入射至投影单元，将与描绘数据相对应的图案投影曝光至基板，且具备照明单元，上述照明单元将上述投影单元的色像差特性上所容许的波长λ1的第一照明光与波长λ2(λ2≠λ1)的第二照明光以与上述开状态的微镜的倾斜角的倍角相对应的入射角照射至上述空间光调变组件，于将于上述波长λ1下由上述开状态的微镜产生并入