TPMS应用中集成加速度计与压力传感器晶圆级压力校准方法.pdfVIP

M3P.093

用于TPMS应用的集成加速度计和传感器的晶圆级校准方法

1111121

,,,晨*，微电子，，

以及纳米/微加工技术国家重点，2微纳电子与集成系统创新，中

国

但对于压阻式加速度计，静电激励需要额外的电容结构

轮胎系统（TPMS）通常包含一个加速度和工艺步骤[4],，这不太适合低成本的TPMS应用。

计。对于压阻式加速度计，低成本的晶圆级全范围校准

仍然是一个。本文了一种新型的晶圆级校本文基于我们团队开发的压阻加速度计制造工艺

准方法，适用于对加速度和均敏感的梁‑块‑膜结构[5],，报告了一种晶圆级校准解决方案，该方案可

加速度计。通过在静态测试步骤中测量加速度计的以在晶圆级测试处理器中测量MEMS