CN119768737A 耐显影液的抗蚀剂下层膜组合物及制造抗蚀剂图案的方法 （默克专利有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768737A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380055428.3

(22)申请日2023.07.19

(30)优先权数据

2022-1173412022.07.22JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0699742023.07.19

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/017921EN2024.01.25

(71)申请人默克专利有限公司

地址德国达姆施塔特

(72)发明人柳田浩志山本和磨铃木理人

(74)专利代理机构北京三幸商标专利事务所(普通合伙)11216

专利代理师刘卓然

(51)Int.Cl.

G03F7/004(2006.01)

G03F7/039(2006.01)

G03F7/09(2006.01)

G03F7/095(2006.01)

G03F7/11(2006.01)

权利要求书7页说明书29页

(54)发明名称

耐显影液的抗蚀剂下层膜组合物及制造抗

蚀剂图案的方法

(57)摘要

CN119768737A一种耐显影液的抗蚀剂下层膜组合物，包含聚合物(A)、交联剂(B)、热酸产生剂(C)及溶