CN119768735A 用于生产投射曝光设备的光学元件的中间产品、投射曝光设备的光学元件、中间产品的生产方法和光学元件的生产方法 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768735A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380061516.4

(22)申请日2023.08.07

(30)优先权数据

102022208658.92022.08.22DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0717622023.08.07

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/041875DE2024.02.29

(71)申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨

(72)发明人S·霍夫曼C·施密特

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

专利代理师王蕊瑞

(51)Int.Cl.

G03F7/00(2006.01)

G02B5/08(2006.01)

G02B5/18(2006.01)

G21K1/06(2006.01)

权利要求书2页说明书10页附图5页

(54)发明名称

用于生产投射曝光设备的光学元件的中间产品、投射曝光设备的光学元件、中间产品的生产方法和光学元件的生产方法

(57)摘要

CN119768735A一种用于生产用于投射曝光设备(1)的光学元件的中间产品，包括用于指定光学表面的