CN119778527A 一种比例调节阀及其控制方法、系统 （宁波思达仪器有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119778527A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202411975023.4

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人宁波思达仪器有限公司

地址315300浙江省宁波市杭州湾新区庵

东镇元祥村元祥路35弄32号

(72)发明人刘鹏徐文立杜霆叶啸天陈来

(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569

专利代理师宫灿灿

(51)Int.Cl.

F16K31/04(2006.01)

F16K1/22(2006.01)

F16K1/54(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图6页

(54)发明名称

一种比例调节阀及其控制方法、系统

(57)摘要

CN119778527A本申请公开了一种比例调节阀及其控制方法、系统，涉及压力控制阀门领域。该方法包括根据真空容器腔室的控压目标压力和当前进气流量，选择匹配的PID段；根据真空容器腔室的控压目标压力、当前腔室压力和当前进气流量，利用选择的PID段，输出控制信号；依据控制信号调控比例调节阀的开度；获取真空容器腔室在控压过程的实时压力，形成实际压力曲线；若实际压力曲线中的最终压力与控压目标压力的差值大于预设误差，则自动调整PID段的系数重新控制比例调节阀的开度，直至实