CN119680941A 一种硅料清洗方法、系统、清洗装置、存储介质和电子设备 （清电硅业有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119680941A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411860578.4

(22)申请日2024.12.17

(71)申请人清电硅业有限公司

地址839000新疆维吾尔自治区哈密市伊

州区高新技术产业开发区南部循环经

济产业园西域大道188号

(72)发明人张思琴秦现东赵静楠

(74)专利代理机构上海微略知识产权代理有限

公司31498

专利代理师焦叶辉

(51)Int.Cl.

B08B3/04(2006.01)

B08B3/02(2006.01)

B08B3/10(2006.01)

B08B3