CN119779184A 一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法 （爱利彼半导体设备(上海)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119779184A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202510263914.5

(22)申请日2025.03.06

(71)申请人爱利彼半导体设备（上海）有限公司

地址200120上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区两港大道

6288号1幢1层

(72)发明人郭高朋汤进昌

(74)专利代理机构苏州市知腾专利代理事务所(普通合伙)32632

专利代理师付应龙

(51)Int.Cl.

G01B11/16(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

G01B21/32(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图8页

(54)发明名称

一种半导体加热盘表面形变检测装置及方

法

(57)摘要

CN119779184A本发明涉及表面形变检测技术领域，公开了一种半导体加热盘表面形变检测装置及方法。本发明在移动驱动机构驱动下，承载平台带动待检测的半导体加热盘在检测槽的下方移动，在承载平台的移动过程中，遮蔽机构能够遮蔽移动驱动机构，以及固定框架、安装平台和遮蔽挡板共同的遮蔽作用下，能够保证移动驱动机构与外界环境的隔离，而能够有效的避免外界的灰尘等杂质进入移动驱动机构的活动空间，而能够有效保证移动驱动机构驱动承载平台移