1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 办公文档
  5. 产品手册

CN119694959A 装载腔的压力控制装置、晶圆传输装置及其方法、设备 （拓荆科技(上海)有限公司）.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.25万字
  • 约 10页
  • 2026-06-24 发布于重庆
  • 举报

CN119694959A 装载腔的压力控制装置、晶圆传输装置及其方法、设备 （拓荆科技(上海)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119694959A

    (43)申请公布日2025.03.25

    (21)申请号202411867269.X

    (22)申请日2024.12.17

    (71)申请人拓荆科技（上海）有限公司

    地址201306上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区临港新片区鸿音路

    1211号10幢304室

    (72)发明人牛沛泽

    (74)专利代理机构深圳市精英创新知识产权代

    理有限公司44740

    专利代理师林燕云

    (51)Int.Cl.

    H01L21/677(2006.01)

    权利要求书1页说明书6页附图2页

    (54)发明名

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >