CN120230995A 一种控制锑源蒸发速率的工艺 (北京新日科靶材科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-25 发布于重庆
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CN120230995A 一种控制锑源蒸发速率的工艺 (北京新日科靶材科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120230995A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510365669.9C22C12/00(2006.01)

B22F1/14(2022.01)

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人北京新日科靶材科技有限公司

地址102200北京市昌平区马池口镇北庄

户村甲19号720室

(72)发明人田文怀田锦华封俊浩陈言坤

(74)专利代理机构北京万思博知识产权代理有

限公司11694

专利代理师袁李芳

(51)Int.Cl.

C23

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