CN120183983A 一种离子注入机的离子源组装和校准方法 （西安龙威半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120183983A

(43)申请公布日2025.06.20

(21)申请号202510367707.4

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人西安龙威半导体有限公司

地址710000陕西省西安市经济技术开发

区凤城十二路1号西安关中综合保税

区A区龙腾产业园

(72)发明人皮鼎元王鑫

(74)专利代理机构西安嘉思特知识产权代理事

务所(普通合伙)61230

专利代理师田孟敏

(51)Int.Cl.

H01J9/18(2006.01)

H01J37/317(2006.01)

H01J37/08(2006.01)