CN120221428A 缺陷检测设备的优化方法、装置、设备、程序产品及介质 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120221428A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510364342.XG01N1/28(2006.01)

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人贾聪仝临杰万珣

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师赵亮

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01N21/95(20