CN120213958A 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 (西安奕斯伟材料科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-25 发布于重庆
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CN120213958A 晶圆缺陷检测方法、装置和设备 (西安奕斯伟材料科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120213958A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510363868.6G01B11/00(2006.01)

G01B15/00(2006.01)

(22)申请日2025.03.26

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人万珣

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师赵春杰

(51)Int.Cl.

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