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MEMS微热板结构设计与仿真.pdfVIP

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  • 2026-06-29 发布于福建
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MEMS微热板结构设计与仿真.pdf

    传感器与微系统（）年第卷第期

    ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ２０２４４３１０

    １００

    ：—（）——

    ＤＯＩ１０．１３８７３／Ｊ．１０００９７８７２０２４１００１０００５

    ＭＥＭＳ微热板结构设计与仿真

    １２１３

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