CN119790481A 用于连接到用于等离子体生成系统的阻抗适配电路的等离子体状态监测装置、等离子体生成系统以及用于监测等离子体生成系统的方法 （通快许廷格两合公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119790481A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202380062931.1

(22)申请日2023.08.31

(30)优先权数据

102022122044.32022.08.31DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.28

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0738802023.08.31

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/047150DE2024.03.07

(71)申请人通快许廷格两合公司地址德国弗赖堡

(72)