压电驱动双面快速指向镜的设计.pdfVIP

第24卷第11期光学精密工程Vo1．24NO．11

2016年11月OpticsandPrecisionEngineeringNOV．2O16

文章编号1004—924X(2016)11-277706

压电驱动双面快速指向镜的设计

宋盛，刘重飞，苑自勇，徐卫明，舒嵘

(1．中国科学院上海技术物理研究所空间主动光电技术中科院重点实验室，上海200088；

2．中国科学大学量子信息与量子科技前沿协同创新中心，安徽合肥230026)

摘要：考虑相干激光雷达对光束波前的要求，设计了压电驱动双面快速指向镜系统以实现相干激光遥感探测的高精度大

范围指向定位。研究了系统的机械结构和电子学控制方法。结合指向角度、通光13径及信号带宽的实际工程应用需求，

选择了合理的致动器和位移放大机构。针对压电陶瓷固有的迟滞和蠕变等非线性效应，设计了以应变片作为位移传感

器的模拟比例一积分一微分(ProportionInter