CN119803327A 晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统 (深圳中科飞测科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-27 发布于重庆
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CN119803327A 晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统 (深圳中科飞测科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119803327A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202411875836.6G06T7/00(2017.01)

G06T7/73(2017.01)

(22)申请日2024.12.18

G06T7/66(2017.01)

(71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市龙华区观澜街

道新澜社区观光路1301-14号101、102

(72)发明人马砚忠陈治均程朝奎白园园

陈鲁

(74)专利

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