CN119804995A 晶圆的电阻率检测装置及方法 （浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804995A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510289592.1

(22)申请日2025.03.12

(71)申请人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

地址323000浙江省丽水市莲都区南明山

街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241

(72)发明人徐新华

(74)专利代理机构浙江维创盈嘉专利代理有限

公司33477

专利代理师胡根平

(51)Int.Cl.

G01R27/08(2006.01)

G01R31/26(2020.01)

G01R31/28(2006.01)

G01R1/04(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图11页

(54)发明名称

晶圆的电阻率检测装置及方法

(57)摘要

CN119804995A本发明公开了一种晶圆的电阻率检测装置及方法，涉及检测技术领域，包括探头和测量仪，所述探头下端设置有四个探针，所述调节机构包括开设在所述探头内的容纳槽，所述容纳槽内转动连接有套筒，所述套筒上固定连接有靠近所述探针的第一连杆，所述套筒上转动连接有远离所述探针的第二连杆，所述第一连杆和第二连杆两端均铰接有摆杆，每个所述摆杆自由端均铰接有支撑杆，所述支撑杆与