CN119804492A 暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法 （上海中科飞测半导体科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119804492A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202510295267.6

(22)申请日2025.03.13

(71)申请人上海中科飞测半导体科技有限公司

地址200131上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区临港新片区玉宇路

1068号、飞渡路1568号、天高路1111号

6幢

(72)发明人陈鲁秦爽陶陶黄有为

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师崔清杨

(51)Int.Cl.

G01N21/95(2006.01)

G01N21/01(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图5页

(54)发明名称

暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光

学标定方法

(57)摘要

CN119804492A本申请公开了一种暗场晶圆检测设备及其光学标定系统和光学标定方法，涉及晶圆检测设备技术领域，在成像系统的出光侧设置有光瞳，光瞳位于成像系统的光瞳面，标定检测模块可以基于光瞳面获取标定图像，可以根据经过散射场之后的检测光进行成像。本申请中，在成像系统的光瞳面位置，散射光会发生空间分离，标定检测模块可以对系统光瞳面进行成像，进而可以获取光瞳面的强度分布